Комплексный спектрометр Thermo Fisher Scientific Escalab 250Xi

Спектрометр основан на полусферическом анализаторе энергии с двойной фокусировкой и диапазоном энергий 0-5000 эВ и включает в себя монохроматический микрофокусный источник рентгеновского излучения последнего поколения, систему ионного профилирования, систему высокоточной визуализации образца, манипулятор с пятью степенми свободы и отдельные камеры для загрузки и предварительной подготовки образцов.

Основные методы исследования:

- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с высоким разрешением

- спектроскопия ионного рассеяния

- спектроскопия характеристических потерь энергии электронов

- растровая Оже-электронная спектроскопия с высоким пространственным разрешением (менее чем 95 нм)

Преимущества спектрометра ESCAlab 250Xi:

- четыре камеры с независимыми системами откачки: аналитическая камера, камера подготовки, камера напыления тонких пленок и камера ввода образцов

- полусферический анализатор с двумя детекторами: мультиканальный детектор с электронным умножителем широкого динамического диапазона и двумерный детектор на микроканальной пластине и координатном детекторе

- Система визуализации изображений поверхности с использованием ренгеновской фотоэлектронной спектроскопии с пространственным разрешением менее чем 20 микрометров, минимальная область анализа с использованием спектроскопии в режиме параллельной визуализации не более 3 микрометров

- Система магнитных иммерсионных линз для увеличения чувствительности (интенсивности) с сохранением пространственного разрешения

- Манипулятор с пятью степеням свободы с функциями нагрева и охлаждения: охлаждение до 170 К и нагрев до 600 К

- Растровая электронная пушка на эффекте полевой эмиссии с размером электронного пучка менее 95 нм с током 5 нА и энергией 10 кэВ

- ультрафиолетовый источник с дифференциальной системой откачки для исспедования валентной зоны с угловым разрешением менее 1.5 °

- рентгеновский источник с монохроматором

- система нейтрализации положительными и отрицательными зарядами, встроенная в анализатор, используемая для работы с диэлектриками

- дифрактометр медленных электронов в камере подготовки образцов

Дополнительно:

Год выпуска: 2012

Свидетельство об утверждении типа средств измерений

Техническое описание

Сайт разработчика:  Thermo Scientific