Установка вакуумного напыления для осаждения покрытий методами магнетронного распыления "Kepler 450"

Установка предназначена для напыления однослойных и многослойных покрытий методом магнетронного распыления. В качестве рабочего газа в данной установке используется аргон.

Установка

Установка обладает следующими преимуществами:

• Максимально возможное число загружаемых подложек в одном цикле – 4.

• Реализована возможность напылять многослойные покрытия из двух или трех различных материалов в одном рабочем цикле.

• Процесс магнетронного распыления может проводиться как в режиме постоянного тока, так и в высокочастотном режиме.

• Один магнетрон работает только в режиме постоянного тока, а два других магнетрона работают в двух режимах: режиме постоянного тока и ВЧ-режиме.

• Реализована подача до двух газов (помимо рабочего) одновременно для проведения реактивного распыления.

• В установке вакуумного напыления реализована возможность ионного травления образцов с помощью ионного источника КЛАН-103М.

• Реализована возможность прогрева подложек.

• Возможно применение мишеней двух разных диаметров с использованием соответствующих магнитных систем, что позволяет производить медленное напыление тонких пленок (от 1 нм) на малой системе, либо напыление пленок большей толщины (до десятков микрон) на основной системе с высокой скоростью.

• Толщина напыляемого покрытия измеряется с помощью кварцевых датчиков.

Параметры мишеней

• Большая мишень – диаметр мишени от 87 мм до 91 мм, толщина мишени от 0,5 мм до 8 мм;
• Малая мишень – диаметр мишени от 50 мм до 52 мм, толщина мишени от 0,5 мм до 4 мм.

Дополнительно:

Год выпуска: 2019

Паспорт установки

Руководство по эксплуатации установки

Техническое описание ионного источника КЛАН-103М

Патенты

Выдан патент ФИПС на полезную модель "Устройство для получения силицена".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А., сотрудник кафедры электроники твердого тела Комолов А.С.

Патентообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдан патент ФИПС на полезную модель "Устройство для намагничивания тонкопленочных покрытий в вакууме".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А.

Патентообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выданы патенты ФИПС на изобретения "Охлаждаемый составной сопловой блок многокамерной двигательной установки" и "Крыло сверхзвукового летательного аппарата".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Ревегук А.А., сотрудник ООО "ТЭОС" Колычев А.В.

Патентообладатели: Санкт-Петербургский государственный университет, Общество с ограниченной ответственностью "ТЭОС"

Выдан патент ФИПС на изобретение "Составной сопловой блок многокамерной двигательной установки".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Ревегук А.А., сотрудник ООО "ТЭОС" Колычев А.В.

Патентообладатели: Санкт-Петербургский государственный университет, Общество с ограниченной ответственностью "ТЭОС"

Выдан евразийский патент и патент ФИПС на изобретение «Способ получения монослойного силицена».

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А., сотрудник кафедры электроники твердого тела Комолов А.С.

Патентообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдан патент ФИПС на полезную модель "Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А., сотрудник кафедры электроники твердого тела Комолов А.С.

Патентообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдан патент ФИПС на изобретение "Устройство для получения структурированного графена".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А.

Патентообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдано свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ "Программа для записи фотоэлектронных спектров" (XPS spectra).

Авторы: научные сотрудники СПбГУ Рыбкин А.Г., Усачев Д.Ю. и сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А.

Правообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдано свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ "Программа для управления режимом работы источника вакуумного ультрафиолетового излучения" (VUV-Valve).

Авторы: научные сотрудники СПбГУ Вилков О.Ю., Усачев Д.Ю. и сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А.

Правообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдан патент ФИПС на изобретение "Способ получения графена в условиях низких температур".

Авторы: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А.

Патентообладатель: Санкт-Петербургский государственный университет

Выдан евразийский патент на изобретение "Способ получения графена в условиях низких температур".

Изобретатели: сотрудники РЦ ФМИП Жижин Е.В. и Пудиков Д.А.

Патентовладелец: Санкт-Петербургский государственный университет

Проекты

  • Научно-исследовательская работа (внутренние пользователи)

    • 2017 год

      1. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Формирование и структурный анализ чистого и легированного графена на монокристаллических поверхностях"
      2. Грунский Олег Сергеевич: "Разработка исследовательских методик в области анализа поверхностных наноструктур и композитных материалов"
      3. Толстой Валерий Павлович: "Создание научных основ послойного синтеза композиционных соединений из наночастиц благородных металлов, оксидов металлов и окисленного или восстановленного графена"
      4. Левин Олег Владиславович: "Электродные материалы для литий-ионных аккумуляторов на базе металлорганических полимеров"
      5. Кононов Алексей Игоревич: "Люминесцирующие нанокластеры металлов в нуклеопротеиновых матрицах"
      6. Емелин Алексей Владимирович: "Приглашения проф. Д. Банеманна из Университета им. Лейбница г. Ганновера для создания лаборатории «Фотоактивные нанокомпозитные материалы» в СПбГУ."
      7. Тенникова Татьяна Борисовна: "Трансляционная биомедицина в СПбГУ"
      8. Кондратьев Вениамин Владимирович: "Нанокомпозитные энергозапасающие материалы на основе интеркалируемых оксидов переходных металлов и поли-3,4-этилендиокситиофена"
      9. Шикин Александр Михайлович: "Исследование электронной и спиновой структуры квазидвумерных систем на основе графена, топологических изоляторов, Рашба систем и тонких пленок металлов"
      10. Кочемировский Владимир Алексеевич: "Исследование закономерностей процесса формирования пористых проводящих металлических наноструктур на поверхности диэлектрика методом лазерно-индуцированного осаждения из раствора для создания микросенсоров"
      11. Валиев Руслан Зуфарович: "Механика перспективных массивных наноматериалов для инновационных инженерных приложений (Mechanics of Advanced Bulk Nanomaterials for Innovative Engineering Applications)"
      12. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Синтез, структурные свойства и магнетизм новых материалов на основе графена"
    • 2016 год

      1. Кочемировский Владимир Алексеевич: "Исследование закономерностей процесса формирования пористых проводящих металлических наноструктур на поверхности диэлектрика методом лазерно-индуцированного осаждения из раствора для применения в процессах электрокатализа и создания электрохимических микробиосеносоров."
      2. Лазнева Элеонора Федоровна: "Атомно-молекулярный состав и перенос заряда в области границы монокристаллов тиофен-фениленовых соолигомеров с поверхностями окисленного кремния и золота."
      3. Глазкова Надежда Ивановна: "Динамика фотогенерированных носителей заряда в диоксиде титана, фотоактивном в видимой области спектра"
      4. Санкович Анна Михайловна: "Низкотемпературные фазовые переходы, теплоемкость и термодинамические свойства перовскитоподобных слоистых оксидов, перспективных как функциональные материалы"
      5. Шикин Александр Михайлович: "Изучение особенностей синтеза, а также электронной и спиновой структуры слоистых систем на основе графена, обусловленных эффектами спин-орбитального взаимодействия"
      6. Викторов Алексей Исмаилович: "Влияние состава раствора на растворимость гидроксиапатита"
      7. Михайлов Владимир Николаевич: "Регенерируемые гетерогенные каталитические системы на основе хелатных ациклических диаминокарбеновых комплексов палладия(II), иммобилизованных на полимерный носитель"
      8. Тенникова Татьяна Борисовна: "«Трансляционная биомедицина в СПбГУ», направление «Биодеградируемые наноконструкции для фармакологии: создание биомиметических систем доставки лекарств и блокирования патогенов»"
      9. Толстой Валерий Павлович: "Изучение методом XPS нанослоев оксидов металлов на поверхности кремния"
      10. Силюков Олег Игоревич: "Создание органо-неорганических гибридных наночастиц на основе монослоев слоистых перовскитоподобных оксидов"
      11. Емелин Алексей Владимирович: "Хемо-энергетическое стимулирование фотоактивированной поверхности оксидов металлов"
      12. Зверева Ирина Алексеевна: "Топохимические процессы в протонированных и интеркалированных слоистых перовскитоподобных материалах: термохимическое и структурное исследование"
      13. Кондратьев Вениамин Владимирович: "Композитные гибридные материалы на основе соединений переходных металлов и проводящих полимеров для литий-ионных аккумуляторов: роль связующих и проводящих свойств полимера в характеристике материалов."
      14. Комолов Алексей Сергеевич: "Атомный состав оксида графена (ГО) на поверхности Ta и возможности его восстановления"
      15. Шикин Александр Михайлович: "Исследование электронной и спиновой структуры квазидвумерных систем на основе графена, силицена, топологических изоляторов и тонких пленок металлов."
      16. Бритвин Сергей Николаевич: "Получение характерестик поверхностей аногибридных оксометаллатов, функционализированных полиаминными и полиаминофосфиновыми комплексами переходных металлов, оксидов Nb, Ta, Mo, W, Si"
    • 2015 год

      1. Лившиц Александр Иосифович: "Селективные полимерные и металлические непалладиевые мембраны для получения водорода из углеводородных топлив для топливных элементов"
      2. Маньшина Алина Анвяровна: "Разработка метода синтеза наноразмерных ассоциированных гибридов для создания люминесцентных маркеров медико-биологического применения"
      3. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Влияние примесных атомов графена на скорость и механизм реакций восстановления кислорода"
      4. Емелин Алексей Владимирович: "Приглашения проф. Д. Банеманна из Университета им. Лейбница г. Ганновера для создания лаборатории «Фотоактивные нанокомпозитные материалы» в СПбГУ."
      5. Зверева Ирина Алексеевна: "Исследование изменений элементного состава пленок BN в результате отжига"
      6. Артамонов Олег Михайлович: "Возникновение спиновой поляризации при электрон-электронном рассеянии"
      7. Новиков Борис Владимирович: "Исследования эффективности преобразования ультразвуковых колебаний тонкопленочными структурами"
      8. Тенникова Татьяна Борисовна: ""Трансляционная биомедицина в СПбГУ", направление "Биодеградируемые наноконструкции для фармакологии: создание биомиметических систем доставки лекарств и блокирования патогенов""
      9. Кочемировский Владимир Алексеевич: "Исследование закономерностей процесса формирования пористых проводящих металлических наноструктур на поверхности диэлектрика методом лазерно-индуцированного осаждения из раствора"
      10. Волкова Анна Валериевна: "Изучение поверхностных наноструктур и композитных материалов, синтезированных на основе пористых стеклянных матриц и оксида титана"
      11. Сердобинцев Павел Юрьевич: "Исследование свойств молекул и кластеров, в сверхзвуковой струе."
      12. Комолов Алексей Сергеевич: "Атомный состав композита поливинилкарбазола (ПВК) и оксида графена (ГО) на SiO2 и Au поверхностях и возможности его окисления и восстановления"
      13. Земцова Елена Георгиевна: "Разработка научно-технологических основ получения композиционного нанома- териала на основе наноструктурированной матрицы титана и поверхностного биоактивного нанопокрытия для повышения механических и биомедицинских свойств имплантантов."
      14. Воронцов-Вельяминов Павел Николаевич: "Изучение молекулярных основ трансформации прионных белков"
      15. Толстой Валерий Павлович: "Исследование методом XPS поверхности наноматериалов"
      16. Филатова Елена Олеговна: " Исследование фотоэлектронных линий внутренних уровней Al 2p и O 1s и валентной зоны тонких плёнок (12нм) Al2O3 различных кристаллических модификаций"
      17. Валиев Руслан Зуфарович: "Разработка научно-технологических основ получения композиционного наноматериала на основе наноструктурированной матрицы титана и поверхностного биоактивного нанопокрытия для повышения механических и биомедицинских свойств имплантантов."
      18. Шикин Александр Михайлович: "Изучение особенностей электронной и спиновой структуры слоистых систем на основе графена, топологических изоляторов и тяжелых металлов, обусловленных эффектами спин-орбитального взаимодействия"
      19. Шикин Александр Михайлович: "Изучение особенностей электронной структуры графена на поверхности тонких плёнок металлов"
    • 2014 год

      1. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Исследование электронной структуры графена, легированного азотом в аммиачной плазме"
      2. Соколова Мария Петровна: "Исследование морфологии нанокомпозитов на основе полимеров"
      3. Левин Олег Владиславович: "Синтез наноразмерных катализаторов для топливных элементов с использованием полимерных комплексов металлов с основаниями Шиффа"
      4. Кондратьев Вениамин Владимирович: "интез, структура и электрохимические свойства гибридных металл-полимерных материалов, перспективных для топливных элементов и суперконденсаторов"
      5. Емелин Алексей Владимирович: "Хемо-энергетическое стимулирование фотоактивированной поверхности оксидов металлов"
      6. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Влияние примеси на кристаллическую и электронную структуру графена"
      7. Толстой Валерий Павлович: "Регистрация XPS спектров поверхности модифицированных веществ"
      8. Лузянин Константин Владимирович: "Изучение строения и реакционной способности наночастиц и кластеров переходных металлов в растворах"
      9. Шикин Александр Михайлович: "Изучение особенностей электронной и спиновой структуры слоистых систем на основе графена, топологических изоляторов и тяжелых металлов, обусловленных эффектами спин-орбитального взаимодействия"
      10. Комолов Алексей Сергеевич: "XPS анализ состава тонких пленок полимер-графенового композитного материала"
      11. Кондратьев Вениамин Владимирович: "Исследование структуры и электрохимических свойств гибридных металл-полимерных материалов, перспективных для топливных элементов и суперконденсаторов"
      12. Сорокоумов Виктор Николаевич: "Высокоэффективные катализаторы реакций кросс-сочетания на основе ациклических диаминокарбеновых комплексов палладия(II) на полимерных носителях"
      13. Боярский Вадим Павлович: "Иммобилизация карбеновых комплексов палладия на гетерогенных носителях"
      14. Назаров Денис Васильевич: "Синтез нанообъектов различной мерности на основе диоксида олова как перспективных для спинтроники материалов и изучение фундаментальных особенностей их магнетизма и электрофизических свойств."
      15. Пенькова Анастасия Владимировна: "Исследование поверхности полимерных пленок на основе полимеров и полимерных композитов"
      16. Сорокоумов Виктор Николаевич: "Высокоэффективные катализаторы реакций кросс-сочетания на основе ациклических диаминокарбеновых комплексов палладия(II) на полимерных носителях"
      17. Грачева Елена Валерьевна: "Триплетные люминофоры и их ковалентные и нековалентные конъюгаты с белками и олигонуклеотидами – новые метки для люминесцентной микроскопии"
      18. Кочемировский Владимир Алексеевич: "Разработка метода создания нового класса материалов для бесшаблонного формирования элементов микроэлектроники локализованным лазерным осаждением меди на диэлектрические керамики."
      19. Лисаченко Андрей Андреевич: "Получение, структура, оптические, электрофизические и фотокаталитические свойства самосенсибилизированных к видимому свету наноструктур на основе оксидов титана и цинка"
      20. Филатова Елена Олеговна: "Изучение фотоэлектронных линий внутренних уровней Al 2p и O 1s в тонких плёнках (12нм) Al2O3 различных кристаллических модификаций"
      21. Касьяненко Нина Анатольевна: "Наноструктуры на основе ДНК и синтетических полимеров"
      22. Лисаченко Андрей Андреевич: "Получение, структура, оптические, электрофизические и фотокаталитические свойства самосенсибилизированных к видимому свету наноструктур на основе оксидов титана и цинка"
      23. Сорокоумов Виктор Николаевич: "АНАЛИЗ ВАЛЕНТНОГО СОСТОЯНИЯ Pd НА ПОВЕРХНОСТИ ГЕТЕРОГЕННЫХ АЦИКЛИЧЕСКИХ ДИАМИНОКАРБЕНОВЫХ КОМПЛЕКСОВ ПАЛЛАДИЯ(II)"
      24. Адамчук Вера Константиновна: "Исследование электронной энергетической структуры промышленных графитов"
      25. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Электронная и кристаллическая структура систем на основе сильно легированного графена: ключ к двумерной сверхпроводимости"
      26. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Кристаллическая и электронная структура графена на поверхности ферромагнетиков"
      27. Кононов Алексей Игоревич: "Гибридные структуры на основе флуоресцирующих нанокластеров металлов, ДНК и графена"
    • 2013 год

      1. Касьяненко Нина Анатольевна: "Наноструктуры на основе ДНК и синтетических полимеров"
      2. Габис Игорь Евгеньевич: "Исследование тонких металло-гибридных плёнок"
      3. Кондратьев Вениамин Владимирович: "Исследование структуры и электрохимических свойств гибридных металл-полимерных материалов, перспективных для топливных элементов и суперконденсаторов"
      4. Усачёв Дмитрий Юрьевич: "Электронная структура легированного графена"
      5. Шикин Александр Михайлович: "Изучение особенностей электронной и спиновой структуры слоистых систем на основе графена, топологических изоляторов и тяжелых металлов, обусловленных эффектами спин-орбитального взаимодействия"
      6. Лисаченко Андрей Андреевич: "Получение, структура, оптические, электрофизические и фотокаталитические свойства самосенсибилизированных к видимому свету наноструктур на основе оксидов титана и цинка"
      7. Адамчук Вера Константиновна: "Исследование электронной энергетической структуры промышленных графитов"
      8. Рябчук Владимир Константинович: "Сенсибилизация диоксида титана к видимому свету со-допированием металлами и неметаллами "
      9. Лисаченко Андрей Андреевич: "Создание методом МН-ALD слоистых наноструктур TiO2, ZnO, Al2O3, изучение структуры, электрофизических, оптических и фотокаталитических свойств с целью использования их в качестве элементов солнечных батарей, фотопреобразователей нового пок"
      10. Толстой Валерий Павлович: "Изучение методами оже- и электронной спектроскопии для химического анализа образцов наноматериалов, синтезированных методами ионного наслаивания."
      11. Емелин Алексей Владимирович: "Tunable materials: preparation, characterization and investigation of photocatalytic activity of new hybrid materials"
      12. Соколов Пётр Александрович: "Разработка нового способа светоуправляемой фиксации ДНК и наночастиц на поверхности n- и p-типа для нужд наноэлектроники"
  • Реализация образовательной программы (курсовые, ВКР, диссертации)

    1. Получение гетерометаллических наночастиц кобальта (ВКР, науч. рук. Тверьянович Юрий Станиславович)
    2. Фотофизические процессы возбуждения адсорбированного кислорода на поверхности широкощелевых оксидов металлов (ВКР, науч. рук. Рябчук Владимир Константинович)
    3. Синтез и парообразование твердых растворов системы CeO2-ZrO2 (ВКР Васильевой Е.А., науч. рук. Шугуров Сергей Михайлович)
    4. Исследование оптических свойств диоксида циркония, допированного ионами редкоземельных металлов (курсовая работа, науч. рук. Емелин Алексей Владимирович)
    5. Газо-адсорбционное выделение селена на магнитных наночастицах для последующего определения методом ААС (курсовая работа, науч. рук. Тимофеева Ирина Игоревна)
    6. Лазерно-индуцированный синтез гибридных металл/углеродных наноструктур из раствора Pt/Ag металлоорганического комплекса (ВКР, науч. рук. Маньшина Алина Анвяровна)
    7. Влияние графена на фазообразование и электрические свойства в системах на основе оксида циркония (ВКР, науч. рук. Конаков Владимир Геннадьевич)
    8. Определение элементного состава и валентности оксидов переходных металлов (ВКР, науч. рук. Ермаков Сергей Сергеевич)
    9. Адсорбция атомов кремния на монокристаллической поверхности металла (ВКР, науч. рук. Владимиров Георгий Георгиевич)
    10. Исследование состояния ионов железа в Ag-Fe-морденитах (ВКР, науч. рук. Шеляпина Марина Германовна)
    11. Атомно-молекулярный состав и работа выхода поверхности золота, модифицированной органическими покрытиями. (ВКР, науч. рук. Комолов Алексей Сергеевич)
    12. Исследование никелевых катализаторов на базе ультрастабильных Y-цеолитов (ВКР, науч. рук. Цыганенко Алексей Алексеевич)
    13. Определение элементный состав и валентность оксидов переходных металлов (ВКР, науч. рук. Ермаков Сергей Сергеевич)
    14. Физико-химическое исследование соединений на основе слоистых перовскитоподобных соединений железа и марганца (ВКР, науч. рук. Зверева Ирина Алексеевна)
    15. Исследование нанослоев MgO методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (ВКР, науч. рук. Филатова Елена Олеговна)
    16. Взаимодействие молекулы ДНК с соединениями серебра и ее металлизация (ВКР, науч. рук. Касьяненко Нина Анатольевна)
    17. Физический практикум для студентов 3 курса ООП «Физика», «Прикладные физика и математика» (ВКР, науч. рук. Андроненков Алексей Николаевич)
    18. Исследование фемтосекундных процессов релаксации кластеров при их двухфотонном возбуждении (ВКР, науч. рук. Пастор Александр Александрович)
    19. Получение наночастиц кобальта (ВКР, науч. рук. Тверьянович Юрий Станиславович)
    20. Наноструктуры на основе ДНК и Ag(Phen)2 (ВКР, науч. рук. Касьяненко Нина Анатольевна)
    21. Синтез, строение, электрофизические и магнитные свойства наночастиц и нанослоев диоксида олова, модифицированные ионами 3-d элементов (ВКР, науч. рук. Смирнов Владимир Михайлович)
    22. Синтез, строение, электрофизические и магнитные свойства наночастиц и нанослоев диоксида олова, модифицированных ионами 3-d элементов. (ВКР, науч. рук. Назаров Денис Васильевич)
    23. Исследование спектральной зависимости квантового выхода фотоадсорбции на поверхности оксидов металлов (ВКР, науч. рук. Емелин Алексей Владимирович)
    24. Прямой элементный анализ полупроводников и диэлектриков с помощью времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом (ВКР, науч. рук. Ганеев Александр Ахатович)
    25. Адсорбция кремния на поверхности W(110) и Ag(111)/W(110)(ВКР, науч. рук. Владимиров Георгий Георгиевич)
    26. Исследование сенсорных свойств и строения наноструктурированных функционально-градиентных оксидных слоев на неорганических матрицах. (ВКР, науч. рук. Смирнов Владимир Михайлович)
    27. Исследование когерентных процессов взаимодействия излучения фемтосекундного лазера с оптически плотными парами атомарного рубидия. (ВКР, науч. рук. Пастор Александр Александрович)
    28. Исследование процессов релаксации энергии в наноразмерных кластерах инертных газов. (ВКР, науч. рук. Пастор Александр Александрович)
    29. Прямой элементный анализ полупроводников и диэлектриков с помощью времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом (ВКР, науч. рук. Ганеев Александр Ахатович)
    30. Анализ медьсодержащих морденитов методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (ВКР, науч. рук. Шеляпина Марина Германовна)
    31. Изучение химического состояния адатомов никеля на поверхности топологических изоляторов (ВКР, науч. рук. Владимиров Георгий Георгиевич)
    32. Атомный состав и энергетическая структура валентной зоны тонкопленочных покрытий пиррол замещенного фуллерена (APP-С60)(ВКР, науч. рук. Комолов Алексей Сергеевич)
    33. Исследование наночастиц металла и наноструктурированных пленок на поверхности кремния. (ВКР, науч. рук. Вывенко Олег Федорович)
    34. Электрофизические свойства полупроводниковых структур металл-AlN-кремний (ВКР, науч. рук. Вывенко Олег Федорович)
    35. Анализ медьсодержащих морденитов методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (кандидатский проект, науч. рук. Шеляпина Марина Германовна)
    36. Синтез и исследование физико-химических свойств наночастиц сложных оксидов на примере алюмоиттриевого граната и феррита висмута (ВКР, науч. рук. Смирнов Владимир Михайлович)
    37. Структуры и морфологии селеносодержащих наносистем (ВКР, науч. рук. Адамчук Вера Константиновна)
    38. Исследование структурного разнообразия мононуклеосом (ВКР, науч. рук. Корнилова Елена Сергеевна)
    39. Высокоэффективные катализаторы реакций кросс-сочетания на основе ациклических диаминокарбеновых комплексов палладия(II) на полимерных носителях (кандидатская диссертация Михайлова Владимира Николаевича)
    40. Изучение свойств и состава стекловидных систем Tl-Ge-S и Ga-La-S. (Дипломная работа студента кафедры радиохимии Шабанова Игоря Владимировича)
    41. Конденсация атомов углерода на оксиде кремния (совпровождение лекций Владимирова Г.Г.)
    42. Адсорбция атомов углерода на оксиде кремния (совпровождение лекций Владимирова Г.Г.)
    43. Количественный анализ строения и химического состава тонкопленочных наносистем методами электронной спектроскопии (ВКР, науч. рук. Усачёв Дмитрий Юрьевич)
    44. Исследование электронной энергетической структуры валентной зоны зёрен феррита с различными кристаллографическими ориентациями. (кандидатская диссертация, науч. рук. Адамчук Вера Константиновна)
    45. Исследование электронной структуры гибридных наносистем на основе наночастиц селенида цинка (ZnSe). (кандидатская диссертация, науч. рук. Адамчук Вера Константиновна)
    46. Исследование структуры металло-протеиновых гибридных систем методами фотоэлектронной спектроскопии. (ВКР, науч. рук. Адамчук Вера Константиновна)
  • Инициативные проекты

    1. Иммобилизация гиалуроновой кислоты на поверхности биодеградируемых тканеинженерных матриксов (Малашичева Анна Борисовна)
    2. Халькогенидные пленки для записи информации (Тверьянович Юрий Станиславович)

Документы

label

Добро пожаловать на сайт ресурсного центра “Физические методы исследования поверхности”
Научного парка СПбГУ!

Ресурсный центр (РЦ) предназначен для проведения научно-исследовательских работ в условиях сверхвысокого вакуума, посвящённых исследованию поверхностных наноструктур и композитных материалов, анализу локальной атомной структуры, морфологии, особенностей электронной энергетической и спиновой структуры. Основными экспериментальными методами, реализованными в РЦ, являются: оже-электронная спектроскопия, рентгеновская и ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия, а также сверхвысоковакуумная туннельная и атомно-силовая микроскопии.

На этом сайте Вы найдете полную информацию об оборудовании, методах исследования поверхности и результатах работы пользователей РЦ.

Новости
28.06.2023

Химики Санкт-Петербургского университета применили методы работы с большими данными для предсказания фотокаталитических свойств нанолистов оксида цинка — наноструктурированного материала, состоящего из частиц в форме тонких листов. Исследование позволит решить вопрос безотходной утилизации красителей, которые широко используются как в лакокрасочной, так и в текстильной промышленности, а также ряд других задач.

Междисциплинарное исследование, объединившее в себе методы неорганической, вычислительной, аналитической химии и материаловедения, проводилось на оборудовании Научного парка СПбГУ, в том числе, в ресурсном центре «Физические методы исследования поверхности».

Подробная информация доступна по ссылке на сайте СПбГУ

14.06.2023

Физики СПбГУ запатентовали устройство получения силицена — перспективного для микроэлектроники наноматериала. Сотрудники ресурсного центра «Физические методы исследования поверхности» Научного парка СПбГУ совместно с сотрудниками кафедры электроники твердого тела СПбГУ разработали технологию получения монослойного силицена и запатентовали ее.

Подробная информация доступна по ссылке на сайте СПбГУ
За разработанную технологию авторам выдан российский патент (см. раздел "Патенты").

01.03.2023

Сотрудниками Общества с ограниченной ответственностью "ТЭОС" совместно с сотрудниками ресурсного центра "Физические методы исследования поверхности" были разработаны Охлаждаемый составной сопловой блок многокамерной двигательной установки и Крыло сверхзвукового летательного аппарата.

За разработанные технологии авторам выданы российские патенты (см. раздел "Патенты").

07.02.2023

Ученые Санкт-Петербургского университета разработали энергоэффективный и быстрый способ переработки одного из главных элементов литий-ионных аккумуляторов — графитовых анодов.В работе использовались ресурсные центры «Нанотехнологии», «Оптические и лазерные методы исследования вещества», «Физические методы исследования поверхности», «Рентгенодифракционные методы исследования» Научного парка СПбГУ.

Подробная информация доступна по ссылке на сайте СПбГУ

20.01.2023 Коллектив ученых Санкт-Петербургского университета и Омского научного центра Сибирского отделения РАН создал композитный материал из многослойных углеродных нанотрубок, оксида марганца и рения. Полученный материал позволит повысить энергоэффективность суперконденсаторов, используемых в альтернативной энергетике. В работе использовалась инфраструктура Научного парка СПбГУ (оборудование ресурсных центров «Физические методы исследования поверхности» и «Рентгенодифракционные методы исследования», а также междисциплинарного ресурсного центра по направлению «Нанотехнологии»).

Подробная информация доступна по ссылке на сайте СПбГУ

05.12.2022 Ученые Санкт-Петербургского университета совместно с зарубежными коллегами впервые в мире синтезировали графен с ферримагнитным порядком — противоположными намагниченностями на его подрешетках. Использование полученного магнитного состояния графена может открыть новый подход к электронике, увеличив ее энергоэффективность и быстродействие при разработке устройств, в которых применяются альтернативные технологии без использования кремния. Основные экспериментальные работы для данного исследования проводились на уникальной научной установке «Нанолаб» ресурсного центра «Физические методы исследования поверхности», а ресурсоемкие вычисления были выполнены в Вычислительном центре Научного парка СПбГУ.

Подробная информация доступна по ссылке на сайте СПбГУ

 

 

Манипуляция Основные направления
исследований
Исследуемые объекты

Управление электронными свойствами

Управление геометрической структурой

Управление процессами

Фотоактивные материалы

Термоэлектрические материалы

Катализаторы

Биоматериалы

Наноэлектроника и спинтроника

Графен и топологические изоляторы

Магнетизм наноструктур